【主な用途】
CVDダイヤモンドの高い機械的/熱的特性を生かす、さまざまなマイクロメカニカル用途に最適です。
・高速バイメタルアクター
・耐摩耗性バルブとポンプ
・AFMチップ
・X線レンズ
・MEMSスイッチ
・顕微手術用ブレード
精密レーザーアブレーション、異方性プラズマエッチング、リソグラフィパターニング、ウェハボンディング、センサインテグレーション、機能性コーティングなどの加工が可能
製品情報PRODUCT INFO
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CVDダイヤモンド製 耐摩耗部品
仕様・オプション
| 寸法 | 0.5 – 180 mm |
|---|---|
| ウェハ |
自立型ダイヤモンドディスク/メンブレンまたは 高純度ダイヤモンドと高精度研磨面を備えたダイヤモンドオンシリコン |
| 材料 | ナノ結晶薄膜、導電性ダイヤモンド、高純度のセンサグレードなど |
| プラズマエッチング | 高アスペクト比のディープエッチング、プラズマスムージング |