主観の入らない計測を行うので高再現性・高信頼性
製品歩留まりを飛躍的に向上させます
測定サービス承ります
※測定サービスは海外のメーカーへ委託しますので、物品の海外発送が必要です
製品情報PRODUCT INFO
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- RP Optical Lab
- SCD（SemiConductor Devices）
- Sierra-Olympia（Sierra-Olympia Technologies Inc.）
- StingRay（Div. of G&H）
スクラッチ・ディグ自動検査装置 OptiLUX SD
特徴
- 均一照明下での高解像度の暗視野顕微観察で、主観の入らない信頼性の高い計測を行います
- XYステージ、Z軸高さ、カメラフォーカスの全てが自動調整、再現性の高い計測を行います
- 最大300x300mmの範囲に収まれば、複数の光学系を一度に計測できます
- オートフォーカスなので素早く計測できます
- 表面計測モードは手動、自動の両方が選択可能
(必要な一部だけをすぐに確認することも！) - ユーザーの指定する範囲・形状に対して、任意に条件を設定可能
＊ 複数の光学部品の一括測定が可能
＊ プログラムを組めば、業務時間外に自動計測を走らせることも可能、時間短縮に貢献します - その測定範囲設定条件の保存・呼び出しも可能
- 下記のような、見やすい測定結果レポートを作成
＊ どこにどんなキズがあるかがすぐに分かるマッピング付き
＊ 個別のキズに対する解析
＊ 複雑な形状に対する解析
＊ 指定するしきい値に対しての合否判別も簡単！
用途
- 平面原器、フィルター、プリズム、光学窓のような、高精度光学系の検査に
- 高再現性・高信頼性を誇るので、従来必要としていた限度見本が不要に
- 表面のキズ・ブツの規格を取り決めたい精密金属加工の分野に
- その他、表面の性状の検査、計測に
| 計測光学系 | |
| カメラ | モノクロ2048×2048画素、10-bit |
| 視野(FOV) | 5.63×5.63mm |
| 画素分解能 | 2.75um |
| Working Distance | 15mm(装置として) |
| 計測用レンズ | ミツトヨ無限補正対物レンズ、x2(固定)、焦点深度184um、レンズ単体WD34mm |
| 照明 | LEDアレー均一光源(色温度5500K) |
| 計測ステージ | |
| 移動最大 | XY 300mm、 Z 50mm (これ以外の仕様も応相談) |
| 駆動方式 | ボールねじ(手動)、ブラシレスサーボモータ |
| 位置決め | ロータリーエンコーダ |
| 移動分解能 | XY 0.5um、 Z 0.1um |
| 位置再現性 | XY ±1um、 Z ±0.75um |
