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OptoAlignment社3DプロファイラQuickシリーズ

OATi Quickシリーズは、米国OptoAlignment社に依る、共焦点クロマティックセンサ方式あるいは波長ドメイン光コヒーレンストモグラフィ方式の、3Dプロファイリングや膜厚(分布)測定ができる、非接触検査装置のシリーズです。
センサそのものは点の観察ですが、高速応答性が高くステージ自由度も高いので、高速スキャニングに依る3Dプロファイリングが容易に提供できます。
センサタイプに依っては、45°もの急峻な傾きを持つ形状にも対応したり、複数の層・膜を透過したイメージングを行ったりすることも可能です。

また表面に存在する様々な構造の位置を、その幅や高さなどの情報とともにマッピングすることが可能なので、各々の識別や良否判定はオペレータに任されることになりますが、表面キズの評価などにも転用が可能です。
※別の「全自動スクラッチディグ検査装置」のようなキズの自動判別などはしてくれない

国内デモは未対応ですが、サンプルをメーカ所在の米国に送ることができるのであれば、測定デモ・測定サービスを提案することが可能です。

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QuickPro-3D

共焦点クロマティックセンサタイプx1基搭載 3Dプロファイラ
片面のみスキャンを行う装置で、ラスタスキャン・螺旋スキャンに対応
10x10x5cmのステージ移動範囲内に収まる、最大斜度45°以内のサンプルならば全面のスキャンを約1分ほどで終えられる

QuickPro-CUBE

共焦点クロマティックセンサx2基搭載 表裏面3Dプロファイラ
螺旋スキャンタイプ
片面ごとの評価になる(※)が、サンプルの裏返しなどの操作をせずに表裏面の形状評価が行えるもの

※上下にセンサが1基づつ搭載されていますが、サンプル高さを電動上下できるものの2つのセンサ間距離を自動で判別・調整できる機能は無いため、片面毎の評価になります

QuickPro-RPS

共焦点クロマティックセンサx1基搭載 サンプル回転型3Dプロファイラ
サンプルステージは回転(最速720PRM)し、それに対してセンサプローブが中心から半径方向にスキャンするタイプ
回転対称な構造体のみを対象とするが、非球面や自由曲面なども測定対象とすることが出来、また偏芯を評価することも可能

QuickOCT-4D

波長ドメイン光コヒーレンストモグラフィ 膜厚分布3Dプロファイラ
50～100nmの広い波長帯域幅を持つ1um付近のSLD(880～1310nm)を用いることにより、高分解能を保ちつつ大きな厚みを持つサンプルの評価ができる、高ダイナミックレンジを実現

※QuickOCT-4Dの見た目は、QuickPro-3Dの見た目とほとんど同じです

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