任意環境でのFizeau干渉測定

精密な波面の計測に、複数位相を同時に計測するSpatial Carrier Fringe方式に依る高速撮像を採用し、耐震性能や空気撹乱耐性などを向上したFizeau型の干渉計です。(但し、ピエゾ式への計測モード変更も可能です)
小型で軽量であり測定姿勢を問いませんので、様々な用途・環境への汎用性が高く、他目的にお使いいただけます。

対象は平面のみ(4in、6in)ですが、サンプルご支給に依る測定サービスや、ご指定先での計測試行などお気軽にご相談ください。

AccuFiz-S100

Spatial Carier Fringe方式と、通常のピエゾシフト法の両方の計測モードが使える、小型軽量なFizeau型干渉計です。

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光学製品研磨表面の面精度評価
・平面原器を用いた平面度評価
・レンズの設計と研磨実物との誤差を評価、および再研磨フィードバック

光学性能評価
・透過波面、反射波面などのSingle / Doubleパス評価
・光学システムとしてのITF、MTF、PSFなどの評価
・微少な波面精度変化の評価やフィードバック向け確認など

環境条件変化に対する変位/変形のリアルタイムモニタリング
・恒温槽内部の精密面の、温度変化に依る変形や応力分布の計測
・高速回転体の遠心変形の評価